チラー

チラー製造のノウハウをベースに他社製チラーの修理を行っております。
従来機から省エネタイプに改造も可能です。
環境に配慮し、従来のHCFCからHFCのコンプレッサーに交換修理いたします。

エッチング・CVD用 チラー 修理実績
メーカー型式メーカー型式
SMCINR-341-13NESLABCFT-25
INR-341-16CFT-150
INR-341-24HX-110
INR-341-30HX-150
INR-341-42HX-300
INR-341-43M-25
INR-341-52M-75
INR-341-54M-150
INR-341-56STEEL-HEAD
INR-341-57ENDURA
INR-341-59東京理化CA-1100
INR-341-60CA-351LL
INR-341-61ダイキンCBR3EX6
INR-341-62UBR3ZFB6
INR-341-63UBRP-1AL
INR-341-70UBRP-6WAL
INR-498-012UB32FB6
INR-499-064大同工業DRS-7GN
INR-499-201AFFINITYRAA-002H
-BB6CBC3
伸和CH1-CP-PORAA-012K
-CE55CBC4
CH1-H1-DORASCOAPT-4800-2TU-02
CH1-L1-DOAMATAMAT-0
リッシー    CS-15NRAMAT-1
CS-15W西山工業BS-1500W
CS-15W-1PRICE PUMP4MS50SS-21211
-20C-36-3T6
CS-400AFI-F25MS50SS-412-2HP
CS-400AH-F2HP75KN-600-T6-
1-1/2HP
CS-400AH-F2R1DISCODTU151
CS-600ASADVANTECLHB-10HD
CS-600AMヤマト科学BB300
CS-600AHBC-61
CS-600AHTカムイFA-HC230S1
CS-800WHタイテックCH-400B
CS-800WH-2KCH-402BF
CS-1100SLCH-600B
CS-1100WT
CS-1200HW
CS-1500UL2
CS-1500UL2KS
CS-15000H
CS-17000H
EX-2004
ウエハプローバー用 チラー修理実績
メーカー 型式 メーカー 型式
TEMPTORONIC TPO3000A-0301 東京エレクトロン D214                         
THX104991
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