Heコンプレッサー

純正メーカーにて修理対応不可となった機器の修理も行っております。
また、修理のノウハウをベースに、ご要望に応じて代替機の制作販売も承っております。

スパッタ・インプラ用 クライオポンプHeコンプレッサー 修理実績
メーカー型式メーカー型式
CTISCWANELVACRC-420
8500CRC-420MKⅡ
8510CRC-870
9600CRC-870MKⅡ
CTI-CRYOGEMCSCRC-873
ULVACC2W303CRC-874
C2W-U住友重機P-875CA
LEYBOLTRW6200CKW-21A
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