チラー
チラー製造のノウハウをベースに他社製チラーの修理を行っております。
従来機から省エネタイプに改造も可能です。
環境に配慮し、従来のHCFCからHFCのコンプレッサーに交換修理いたします。
エッチング・CVD用 チラー 修理実績
| メーカー | 型式 | メーカー | 型式 |
|---|---|---|---|
| SMC | INR-341-13 | NESLAB | CFT-25 |
| INR-341-16 | CFT-150 | ||
| INR-341-24 | HX-110 | ||
| INR-341-30 | HX-150 | ||
| INR-341-42 | HX-300 | ||
| INR-341-43 | M-25 | ||
| INR-341-52 | M-75 | ||
| INR-341-54 | M-150 | ||
| INR-341-56 | STEEL-HEAD | ||
| INR-341-57 | ENDURA | ||
| INR-341-59 | 東京理化 | CA-1100 | |
| INR-341-60 | CA-351LL | ||
| INR-341-61 | ダイキン | CBR3EX6 | |
| INR-341-62 | UBR3ZFB6 | ||
| INR-341-63 | UBRP-1AL | ||
| INR-341-70 | UBRP-6WAL | ||
| INR-498-012 | UB32FB6 | ||
| INR-499-064 | 大同工業 | DRS-7GN | |
| INR-499-201 | AFFINITY | RAA-002H -BB6CBC3 | |
| 伸和 | CH1-CP-PO | RAA-012K -CE55CBC4 | |
| CH1-H1-DO | RASCO | APT-4800-2TU-02 | |
| CH1-L1-DO | AMAT | AMAT-0 | |
| リッシー | CS-15NR | AMAT-1 | |
| CS-15W | 西山工業 | BS-1500W | |
| CS-15W-1 | PRICE PUMP | 4MS50SS－21211 -20C-36-3T6 | |
| CS-400AFI-F2 | 5MS50SS-412-2HP | ||
| CS-400AH-F2 | HP75KN-600-T6- 1-1/2HP | ||
| CS-400AH-F2R1 | DISCO | DTU151 | |
| CS-600AS | ADVANTEC | LHB-10HD | |
| CS-600AM | ヤマト科学 | BB300 | |
| CS-600AH | BC-61 | ||
| CS-600AHT | カムイ | FA-HC230S1 | |
| CS-800WH | タイテック | CH-400B | |
| CS-800WH-2K | CH-402BF | ||
| CS-1100SL | CH-600B | ||
| CS-1100WT | |||
| CS-1200HW | |||
| CS-1500UL2 | |||
| CS-1500UL2KS | |||
| CS-15000H | |||
| CS-17000H | |||
| EX-2004 | |||
ウエハプローバー用 チラー修理実績
| メーカー | 型式 | メーカー | 型式 |
|---|---|---|---|
| TEMPTORONIC | TPO3000A-0301 | 東京エレクトロン | D214 |
| THX104991 | |||
